國立嘉義大學 2026-04-20 國立嘉義大學
為推動半導體跨領域人才培育,嘉義大學理工學院電子物理學系結合高等教育深耕計畫資源,持續充實半導體製程相關設備,並充分運用校內半導體製程實驗室(黃光室)的空間與教學條件,開設通識教育微學分課程「半導體製程實務工作坊」,提供全校學生接觸半導體製程實驗與實作學習之機會。課程由通識教育中心每學期邀請電物系余昌峰老師協助執行高等教育深耕計畫【A主軸】教學創新精進子計畫,開設「半導體製程實務工作坊」通識教育微學分課程(0.5學分,9小時),引導學生從半導體基礎科學、元件結構到製程技術,逐步建立理論與實務並重的完整學習歷程。114學年度第2學期「半導體製程實務工作坊」預計於115年4月25日(星期六)在嘉大蘭潭校區電物二館開課,課程提供30位名額,歡迎有興趣的嘉大同學踴躍報名修習。
「半導體製程實務工作坊」以實作導向為核心,內容兼顧知識建構與設備操作,課程內容規劃如下:
一、 半導體製程設備介紹(共2小時)
說明並示範黃光室內主要製程設備之功能與基本操作,包括蒸鍍機(Thermal Evaporator)、濺鍍機(DC Sputter)及微影曝光系統,使學生熟悉實驗環境與製程工具。
二、 積體電路元件導論(共1小時)
介紹積體電路中兩項核心元件─PN 接面二極體(PN diode)與金氧半場效電晶體(MOSFET)之結構特性與基本運作原理。
三、 積體電路製程原理說明(共1小時)
講解半導體元件製作所涉及之主要製程流程與相關物理機制,協助學生建立對整體製程架構的系統性認識。
四、 實作課程與製程示範(共5小時)
(1) 濺鍍實驗示範(DC Sputtering)【0.5小時】
(2) 蒸鍍實驗示範(Thermal Evaporation)【0.5小時】
(3) 微影製程實作(Photolithography)【2小時】
(4) 濕蝕刻製程實作(Wet Etching)【2小時】
課程核心目標在於引導學生建立半導體元件基本運作原理之認識,作為進入電子與半導體技術領域的重要起點。透過理論與實作並行之課程設計,可培養學生對半導體元件製程的基礎理解與實務操作能力,為後續進階課程學習或投入相關產業奠定良好基礎。修習「半導體製程實務工作坊」微學分課程之學生,將親自進入黃光室操作相關設備,並自行設計與製作簡易微影光罩,搭配具體的半導體製程實驗進行學習。透過完整參與製程規劃、設備操作與實驗流程,學生得以深入理解積體電路製作之核心概念,並具體認識微影技術(Lithography)在半導體製程中的關鍵地位與應用價值。
課程結束後,學生將完成一件由自身構思並參與製作的黃光微影成品,從中累積珍貴的製程實務經驗,提升學習成就感與專業自信。未來學生可進一步銜接修習嘉大理工學院所規劃的「半導體學程」及「半導體元件整合學程」,逐步強化專業能力。另外,亦可同步申請「嘉義大學台積電半導體學程」認證,持續強化在積體電路技術上的理論基礎與實務應用能力,進而培養跨領域整合素養,提升投入半導體相關產業實務能力與就業競爭力。
面對全球科技快速發展與政府積極推動半導體人才培育政策,電物系每學期持續規劃辦理「半導體製程實務工作坊」,希望透過短時數、高密度的微學分課程,讓更多不同學系學生得以跨域接觸半導體核心技術,拓展科技視野與學習興趣。嘉大以教學創新為基礎,以產業需求為導向,透過完善設備、實作課程與跨域學程的整合規劃,培養具備半導體基礎素養與實務能力的新世代科技人才,為學生接軌未來產業趨勢開啟更多可能,也為國家關鍵科技人才培育注入穩定能量。
圖1:嘉大電子物理學系余昌峰老師簡介半導體實驗-DC濺鍍機。
圖2:電物系余昌峰老師對學生簡介半導體實驗-旋轉塗佈。
圖3:學生在黃光室進行半導體實驗-微影製程(蝕刻)。
圖4:學生在黃光室進行半導體實驗-微影製程(曝光)。
圖5:學生在黃光室進行半導體實驗-微影製程(顯影)。
圖6:學生在黃光室進行半導體實驗-微影製程(旋轉塗佈光阻)。